Controler RF Navigator II Fci Advanced Energy

Controler RF Advanced Energy

Navigator II FCi de la Advanced Energy permite un control îmbunătățit al procesului, cu livrare precisă de energie și reglare. Rețeaua de potrivire de mare viteză este optimizată pentru pașii de proces cu plasmă critici, sensibili la energie, cu durată scurtă. Sunt acceptate, de asemenea, pași convenționali mai lungi și o gamă largă de reglare, gestionată în mod tradițional de rețele de potrivire bazate pe condensatori de vid. Prin reglarea de mare viteză, Navigator II FCi oferă multe îmbunătățiri de control al procesului.

Timp redus de stabilizare a plasmei
Nu există abandon de plasmă între tranzițiile rețetei procesului