Generator plasma RF eVoS LE Advanced Energy

Generator plasma RF Advanced Energy

Platforma eVoS a Advanced Energy este o tehnologie revoluționară de putere pentru controlul direct al distribuției energiei ionice în procesarea plasmei. Sistemul integrat, cu o singură incintă, oferă o lățime personalizată și un control precis al energiei ionice pentru aplicațiile de gravare și depunere a nodurilor. Cu o formă de undă asimetrică de 1,2 kV, eVoS LE aplică metrologia și controlul proprietar pentru a oferi performanțe de plasmă de polarizare pentru formarea caracteristicilor sensibile și eficiența inaccesibilă prin metodele convenționale RF.